原本计划在夏威夷举行的第四十届“VLSI座谈会2020”于6月15日-18日，在线以点播（On-demand）和线上实时（Live）的形式得以召开。（如图1，2，3，4）。
图1：在线举行的“VLSI座谈会2020”。
（图片出自：VLSI座谈会记者发布会的资料。）
图2：53项点播（On-demand）内容。
（图片出自：VLSI座谈会记者发布会的资料。）
图3：400项现场直播。
（图片出自：VLSI座谈会记者发布会的资料。）
图4：VLSI座谈会参加人数的推移。
（图片出自：VLSI座谈会记者发布会的资料。）
由于此次座谈会参加者人数众多、内容丰富，笔者仅就细微化、EUV（极紫外光刻）、3D IC展开论述。
1纳米节点的细微化
今年（2020年）TSMC开始量产采用了5纳米节点（Node，以下简称为“5纳米”）工艺的逻辑半导体，其中，不仅将EUV曝光设备应用于孔上，还应用在了配线上。此外，TSMC计划自10月份开始进行3纳米的风险生产(Risk Production)、明年（2021年）开始量产。另外，已经开始正式研发2纳米，目标是在2022年实现量产。
考虑到TSMC处于细微化加工的最尖端位置，因此当看到VLSI座谈会的发表内容中出现7纳米、5纳米、3纳米这些字眼，笔者并不感到吃惊。此外，笔者更关注的是“2纳米以后将会如何发展”。
其中，比利时imec的Myung Hee Na先生在其“Friday Forum”中，展示了截止到1纳米的技术蓝图（Road Map）（如下图5）。下面中的纵轴为以对数形式表示的每个晶体管的成本、横轴为其技术节点的量产开始年份，横轴上的时间几乎与TSMC的量产计划一致。
图5:1纳米之前的技术蓝图。（图片出自：Myung Hee Na, imec, “CMOS and Beyond CMOS Technologies for Edge Intelligence”, VLSI 2020, FF5）
从以上技术蓝图来看，28纳米使用了High-K/Metal Gate，16纳米---14纳米导入了FinFET，7纳米---5纳米采用了EUV曝光设备，此外，还将Co应用于Middle of Line（MOL）上。MOL是一种将晶体管（FOEL）与多层配线（BEOL）连接在一起的孔（Via），虽然imec使用了Co，还有其他选择项如Mo、Ru等。
此外，4纳米---3纳米中采用了具有Nanosheet结构的晶体管。此次的VLSI座谈会上，有关7纳米、5纳米、3纳米的文章发布得比较多，然而，笔者却发现将Gate All Around（GAA）的Nanosheet结构应用在这些节点上的情况是全球共通的认知。
同时从技术蓝图看，在2纳米中，使用搭载了Buried Power Rail（BPR，在晶体管下埋入电源线的构造）的Forksheet晶体管；在1纳米中，将会使用采用了BPR的Complementary FET（CFET）。
从Forksheet到CFET
在2019年的VLSI座谈会上，imec表示将会把CFET应用到5纳米、3纳米、2纳米上，笔者就此向其中一位演讲者提出：“imec计划从哪个技术节点开始使用CFET”？得到了以下回答：“就此，目前imec还没有达成一致意见”。
后来，imec在其内部达成了以下共识：3纳米之前采用Nanosheet、2纳米采用Forksheet、1纳米采用CFET。也就是说，在此次VLSI座谈会上，imec的其他发言人，如Sujith Subramanian先生，也是基于以上技术蓝图而做的发表。（如图6）
图6：CMOS结构的变化，FinFET→NanoSheet→ForkSheet→CFET。（图片出自：Sujith Subramanian, imec, “First Monolithic Integration of 3D Complementary FET (CFET) on 300mm Wafers”, VLSI 2020, TH3.1）
从上图可以清晰地看出FinFET、Nanosheet、Forksheet、CFET的结构变化。从FinFET到CFET，通过将Contact Poly Pitch（PP）做到最小、分离nMOS和pMOS，以达到缩小SRAM面积的效果。
在历年的VLSI座谈会上从未出现过Forksheet这中晶体管结构，今年是第一次，首先做成Nanosheet、然后用绝缘壁膜将其内部分离，就能将nMOS和pMOS分离（如下图7），与其说将nMOS和pMOS的Nanosheet分离有意义，不如说工艺的削减更有意义。
图7:设想的2纳米节点的Forksheet。（图片出自：Myung Hee Na, imec, “CMOS and Beyond CMOS Technologies for Edge Intelligence”, VLSI 2020, FF5）
此外，在1纳米中，采用了将nMOS和pMOS纵向排列的CFET（如下图8），虽然CFET的工艺流程非常复杂，但毫无疑问，极大地缩小了CMOS、SRAM的面积，达到了集成化。问题是---是否做到了人们所期待的晶体管的特性，这是未来研发的关键。
图8:设想的1纳米节点的COMPLEMENTARY FET(CFET) 。（图片出自：Sujith Subramanian, imec, “First Monolithic Integration of 3D Complementary FET (CFET) on 300mm Wafers”, VLSI 2020, TH3.1）
排线电阻值增大的问题
随着细微化的发展，人们也在考虑新的晶体管结构。然而，多层排线却面临着严重的问题，当下，多层排线的材料多采用Cu，由于Cu会扩散到绝缘膜中，因此需要采用Ta、TaN等位障金属（Barrier Metal），含有位障金属的Cu排线的阻值随着细微化的发展也迅速扩大。（如下图9）
图9：排线断面面积的缩小、排线电阻值的增加。（图片出自：Mauro Kobrinsky, Intel, “On-Die Interconnect Challenges and Opportunities for Future Technology Nodes”, VLSI 2020, SC1.2）
要解决此问题，英特尔的Mauro Kobrinsky先生提出了以下方案：就最细微的配线（M1）而言，不采用传统的Damascene工艺法，而是采用Subtractive工艺法，即直接在金属上进行干蚀（Dry Etching）。（如下图10）
图10：金属排线的形成方法，Damascene工艺法与直接加工法。（图片出自：Mauro Kobrinsky, Intel, “On-Die Interconnect Challenges and Opportunities for Future Technology Nodes”, VLSI 2020, SC1.2）
实际上，金属直接加工法是在用Cu之前的AI排线法。虽然Cu比AI的阻值低，但是Cu很难被直接加工。于是，在绝缘膜上挖槽、开孔，通过位障金属（Barrier Metal），将Cu埋入，且将不需要的部分利用CMP清除掉，即所谓的Damascene工艺法。
然而，如上文所述，如果排线极细，位障金属（Barrier Metal）的阻值就会成为问题，因此人们不得不考虑不采用位障金属（Barrier Metal）的“金属直接加工法”。
关键问题是到底选择哪种金属材料呢？英特尔的事例如下：直接加工Ru，并形成28nm间距（Pitch）的金属排线。此处排线的阻值比24纳米间距下（同样采用Damascene工艺法）的Cu排线要低。（如下图11）
图11：利用Damascene工艺法做成的Cu排线与利用直接加工法做成的非Cu（比方说Ru）排线。（图片出自：Mauro Kobrinsky, Intel, “On-Die Interconnect Challenges and Opportunities for Future Technology Nodes”, VLSI 2020, SC1.2）
不使用Ru比较好
然而，从笔者过去的经验来看，不推荐使用Ru排线材料，1998年前后笔者曾就职于日立制作所的产品研发中心，从事有关1G Bit DRAM的研发工作。曾预想，在电容（Capacitor）绝缘膜上采用（Ba,Sr）TiO2、在电容（Capacitor）电极上采用Ru，当时笔者的工作是Ru柱（Pillar）的垂直蚀刻。笔者当时与LamResearch合作研发了Ru专用的蚀刻设备，采用O2与Cl2混合离子（Plasma），实现了Ru的垂直加工。
Ru的垂直加蚀刻本身并不是那么困难，但是控制Ru的活动是十分困难的。一旦周边有氧，就会产生RuO2。RuO2也具有导电性，在电气性能上没有问题，但由于吸取了两个氧，因此Ru就会产生膨胀。
由于当时我们认为直接加工RuO2就可以了，因此就马上实行了。然而，RuO2又会在还原条件下释放氧气，结果，RuO2就变成了满是“洞穴”的Ru。
总之，Ru这种材料会随着周围的环境变化而“呼吸”，这种金属材料无法用于DRAM，因为我们的团队放弃将Ru用于电容（Capacitor）电极上。因此，笔者不认为Ru是一款良好的材料。
如今，英特尔的10纳米工艺进行的似乎也不是那么顺利，笔者认为其最大的原因在于金属排线问题。英特尔首先利用Damascene工艺法在M1上制作Co排线，然而失败了，原因是Co的CMP不充分，导致无法彻底排除缺陷（外界推测）。后来，英特尔又讨论采用Ru排线，如果以上推测属实，那么英特尔的10纳米之路走得真艰辛。
Synopsys的Victor Moroz先生也就在1纳米时代的金属排线（直接加工Mo）进行了演讲（如下图12）。笔者个人认为，就M1的金属材料而言，Mo比Ru更好。
图12：1纳米节点的金属排线。（图片出自：Victor Moroz, Synopsys, “Can We Ever Get to a 100nm Tall Library? Power Rail Design for 1nm Technology Node”, VLSI 2020, JFS3.2）
DRAM的细微化发展
就DRAM的研发而言，最辛苦工作的应该是电容（Capacitor），未来应该也是。三星电子的Gwan-Hyeob Koh先生就电容（Capacitor）的历史在下图13中表示出来。随着DRAM的细微化发展，电容（Capacitor）中存储的电荷量需要保持在一定的值。因此，需要同时在提高电容（Capacitor）绝缘膜的介电率和确保电容（Capacitor）面积上同时下功夫。
图13：DRAM电容的发展。（图片出自：Gwan-Hyeob Koh, Samsung Electronics, “Challenges and Prospects of Memory Scaling”, VLSI 2020, SC1.3）
就电容的绝缘膜而言，有SiO2/SiN/SiO2（ONO）、Ta2O5、Al2O3、Al2O3/HfO2、HfO2，最近又出现了ZrO2，从图13左上部可以看出。
然而，要扩大电容面积，首先要经过以下流程：在柱状结构的Poly Si电极周围形成电容绝缘膜--Box，将Poly Si表面粗化后形成Ta2O5（Box＋HSG，Hemi-spherical grained Poly-Si）-- 圆柱模式（Cylinder Mode），在圆柱（Cylinder）的内外及周边形成HSG。以上流程结束后，再挖深孔，形成具有超高介电率的薄膜。
此处应该关注的点如下：由于圆柱（Cylinder）的纵横比过大，因此容易与旁边的圆柱（Cylinder）连接，导致不良发生，为此，就增加了“桥架”（Support）。最近“桥架”（Support）已经做到两层了。
至此，读者应该大致已经理解了吧。因此，笔者很想知道未来将会怎么再发展下去。其技术蓝图如下图14所示，圆柱（Cylinder）的纵横比的变化为10、15、20、34、50，逐步变大，如今，最尖端的1X、1Y、1Z的纵横比为50。
图14：DRAM的细微化。（图片出自：Gwan-Hyeob Koh, Samsung Electronics, “Challenges and Prospects of Memory Scaling”, VLSI 2020, SC1.3）
此外，未来纵横比应该会增至80，且圆柱（Cylinder）将会通过Multi-Stack来制成。如今，就96层以上的3D NAND闪存（以下简称为：NAND）的存储孔（Memory Hole）而言，除了三星，都采用了Multi-Stack方式。因此，DRAM的圆柱（Cylinder）应该也会采用Multi-Stack方式。
笔者虽然对“DRAM的圆柱（Cylinder）采用Multi-Stack方式”表示吃惊，然而，三星却公布说要用Single-Stack来形成128层的3D NAND。其存储孔（Memory Hole）的纵横比应该是80左右。就同样纵横比（80）的孔的开口而言，DRAM采用Multi-Stack、3D NAND却要采用Single-Stack。三星内部是不是在进行技术方面的争论呢？
ASML公布的EUV
TSMC自7纳米的量产以来就开始将EUV应用于孔上，今年（2020年）将EUV应用在排线上，且开始量产5纳米。因此，对尖端细微加工而言，EUV已经不可或缺。
如今能够生产EUV设备的仅有荷兰的ASML一家公司，其出货情况如下图15所示，2019年第一季度，合计出货了31台EUV 扫描设备（Scanner，NXE:3400系列），2019年第四季度出货数量为53台。虽然上面写着2020年出货增加4台，然而这一年总的设备出货数量只有26台。
图15：ASML的EUV爆光设备合计出货数量。（图片出自：Anthony Yen, ASML, “EUV Lithography and Its Application to Logic and Memory Devices”, VLSI 2020, SC1.5）
据说，ASML的EUV生产产能为26台/年，且目前ASML处于100%稼动状态，此外，虽然一年出货26台，其中20台被TSMC购买。据说，TSMC未来继续以20台/年的速度导入EUV。
声称要紧追TSMC的三星应该也会以同样的速度购买EUV设备。自研发以来已经经历了20多年的时间，EUV终于迎来了属于它的时代。
EUV性能的进步
由于TSMC将EUV导入到量产工程中，也促进了EUV性能的提高，下图16为“NXE:3400B”的稼动率，2019年第一季度的平均稼动率为70%左右，2020年第一季度提高了10%左右，提高至85%。
图16：ASML的EUV 曝光设备（NXE:3400B）。（图片出自：Anthony Yen, ASML, “EUV Lithography and Its Application to Logic and Memory Devices”, VLSI 2020, SC1.5）
随着稼动率的提高，吐出量（Through-put）也在上升，如下图17，2019年下半年以来，一台设备一天大约可以处理1,500片产品。每小时的生产效率约为62片。此外，2020年第一季度的最高值为一台设备一天可以处理2,700多片产品。每小时的产量提高至112片。
图17：ASML的EUV曝光设备（NXE:3400B）。（图片出自：Anthony Yen, ASML, “EUV Lithography and Its Application to Logic and Memory Devices”, VLSI 2020, SC1.5）
据ASML表示，就采用了EUV的工程而言，7纳米为5---6层，5纳米为10层以上，3纳米为20层以上，如下图18。如今，在TSMC，7纳米（将EUV应用到孔上）的月产晶元数为170k（k=千个），排线上也采用EUV工艺的5纳米月产能为130k，几乎处于100%稼动状态。
图18:7纳米、5纳米、3纳米逻辑半导体分别使用几层EUV？（图片出自：Anthony Yen, ASML, “EUV Lithography and Its Application to Logic and Memory Devices”, VLSI 2020, SC1.5）
假设TSMC在用的EUV设备有20台，我们计算一下每台设备的吐出量：
- 假设7纳米的EUV工程为5层，EUV处理产品数量为170k*5=850k。
- 假设5纳米的EUV工程为10层，EUV处理产品数量为130k*10=1,300k。
- 每月的EUV处理产品数量为850K＋1,300K＝2,150K。
- 每小时的吐出量为：2,150K÷20台÷30日÷24小时×稼动率85％＝127个。
上图16中提到，ASML的最大吐出量为2,700个/每日，112个产品/小时，假设TSMC的20台EUV的稼动率为85%，每小时的吐出量为127个，二者数值几乎差不多。几乎可以推测出来TSMC的EUV稼动情况。
新一代EUV曝光设备
曝光设备的解析度可以用以下Rayleigh公式来表示。
R＝K1／λ・NA
Λ为光的波长、NA是镜片的开口数。对当前使用中的EUV而言，λ=13.5纳米，NA=0.33。而就新一代的EUV曝光设备而言，λ依旧是13.5纳米，镜片的开口数扩大至0.55。那么，解析度R会提高。
NA=0.55的EUV曝光设备如下图19所示，由于NA的扩大，可以形成更细微的图案。如图20所示，是利用位于Berkeley的The Center for X-ray Optics（CXRO）的NA＝0.5的EUV曝光设备，且利用美国Inpria的无机光刻胶做的图案。就Line&Space而言，Half-ptch（hp）下8nm可以成像。此外，还能做成更细微的Pillar和Tip Pattern。如果使用NA值较大的EUV曝光设备，那么就能形成更细微的图案。NA=0.55的EUV曝光设备的发售预计在2021年以后。
图19：新一代EUV曝光设备（NA从0.33到0.55。）（图片出自：Anthony Yen, ASML, “EUV Lithography and Its Application to Logic and Memory Devices”, VLSI 2020, SC1.5）
图20：利用NA=0.55的EUV曝光设备，且使用无机光刻胶时的解析度。（图片出自：Anthony Yen, ASML, “EUV Lithography and Its Application to Logic and Memory Devices”, VLSI 2020, SC1.5）
3D IC的研发
虽然细微化的发展速度有所放缓，但还是在进步，此次VLSI的座谈会上还展示了2纳米---1纳米晶体管的结构。此外，由于细微化加工的进步，使EUV曝光设备得以应用于量产工艺，同时使ASML以100%稼动率生产设备。
但是，由于尖端系统、电子设备的要求越来越严格，不仅要推进细微化加工（More Morre），还要求更高层次的晶体管的集成（More than Morre）。而且，为了实现More than Morre，堆叠了各种半导体芯片的3D IC技术正在突飞猛进。（图21）
图21：3D 芯片堆叠技术的发展。（图片出自：Eric Beyne, imec, “Heterogeneous System Partitioning and the 3D Interconnect Technology Landscape”, VLSI 2020, SC2.2）
继SiP（System in Package，堆叠Package，通过Interposer排列芯片）之后，通过Micro Bump堆叠芯片的3D SIC开始登场了，并获得了将埋入芯片的晶圆、直接焊接（Bonding）晶圆的3D SOC。此外，也正在研发堆叠（Stack）晶体管的3D IC。
比方说，如图22所示，作为3D SOC，由缓存内存（Cache Memory）和核心（Core）构成的逻辑半导体由Micro TSV（Through-Silicon Via）连接，而且，通过焊接(Bonding)将不同的逻辑半导体连接。
图22：3D IC的结构。（图片出自：Eric Beyne, imec, “Heterogeneous System Partitioning and the 3D Interconnect Technology Landscape”, VLSI 2020, SC2.2）
如果将以上汇集在一颗芯片上，需要准备一个包含了逻辑半导体和存储半导体的Mask Set，而且需要构筑一个极其长的工业流程（Process Flow）。另一方面，如果可以堆叠（Stack）特殊的半导体，就可以分别特化并生产逻辑半导体和存储半导体，并将良品结合在一起即可。设计3D SOC时，需要追求整体的优化（Design Technology Co-Optimization、DECO），毫无疑问，在工艺成本、TAT（Turn Around Time）方面，3D SOC更具优势。
TSMC 研发的3D IC
TSMC研发的3D IC技术，即Immersion in Memory Compute（ImMC，简称为：“SoICTM”）技术在成本、性能上都具有极高的优势。
与一般的存储半导体和逻辑半导体的3D IC（F2F：Face to Face）不同，就最好的3D IC的“SoIC（F2F）”而言，Bump密度是一般的16倍，速度为11.9倍，带宽密度（Band Width Density）为191倍，每比特消耗的电力为0.05倍。（如图23）
图23：TSMC的So ICTM的效果。（图片出自：C.T. Wang, TSMC, “Immersion in Memory Compute (ImMC) Technology”, VLSI 2020, TH1.5）
另外，以三维的形式将2个处理器结合在一起，且以三维的形式将2个存储半导体结合在一起的话，哪种压层方式最好呢（如图24）？如果要追求最优性能的话，应该将电子的移动距离设计到最小，这种考虑了系统最优化的设计被成称为System Technology Co-Optimization（STCO）。
图24：处理器和处理器连接后的性能表。（图片出自：C.T. Wang, TSMC, “Immersion in Memory Compute (ImMC) Technology”, VLSI 2020, TH1.5）
以A-I结构为基准，采用电子移动距离最小的C-II构造的话，Bump密度变为16倍，速度增至300倍，带宽密度（Band Width Density）为6,200倍（与一般的存储半导体和逻辑半导体的3D IC相比）。
总结
综上所述，在2纳米---1纳米之前，细微化还会持续下去，明年也许会出现Sub纳米。要做成2纳米---1纳米的晶体管，System Technology Co-Optimization（STCO）的理念是必须的。总之，“单纯只设计逻辑半导体的时代”已经过去，从所需要的系统中分离（Break Down）出来并设计逻辑半导体才是当下的趋势。
此外，5纳米以后，EUV曝光设备成为不可或缺的要素，其性能也在不断提高。目前正在以TSMC和三星电子为中心，推动EUV的发展和普及。
同时，与细微化的进步同时进行的还有三维形式堆叠芯片的3D IC技术的发展。通过3D IC技术，不仅可以降低成本、提高逻辑半导体的工作速度、削减功耗，而且性能也可以得到大幅度提高。
半导体的发展还在继续。明年的VLSI会在日本京都召开。同时笔者希望新冠肺炎尽快得到控制，明年的VLSI能在线下、线上同时举行。
笔者简介：
汤之上隆 细微加工研究所所长
生于1961年，出生于日本静冈县。毕业于京都大学研究生院（硕士课程为原子核工学专业），后就职于日立制作所。此后16年中，先后在中央研究所、半导体事业部、设备研发中心、尔必达（因工作调动）、半导体前沿技术公司研发协会（即Selete，因工作调动）从事精密加工技术研发工作。2000年，被京都大学授予工学博士学位。目前，担任半导体产业和电力机械产业顾问及撰稿人，细微加工研究所所长。著有《日本“半导体”的战败》《“电器、半导体”产业大崩溃的教训》、《日本型制造业的败北，零战·半导体·电视机》。
