半导体行业观察 · 2021年11月11日

大基金入股上扬软件,半导体智造MES工业软件路在脚下

来源:内容由半导体行业观察(ID:icbank)原创,作者:杜芹,谢谢。
近日,大基金二期领投了上扬软件的数亿元C2轮融资,上扬软件所处的赛道是半导体制造MES软件,过去并不为大众所熟知。提到半导体,我们知道的三大产业链是芯片设计、晶圆制造、封装测试。在这轮缺芯中,全球半导体巨头数千亿美元砸向了晶圆制造,建厂扩产。但殊不知在晶圆制造环节中,软件的国产化也至关重要。而此次大基金的入股,足见对半导体MES软件的重视。

大基金的投资版图

2014年6月《国家集成电路产业发展推进纲要》发布,提到要到2030年集成电路产业链主要环节达到国际水平,一批企业进入国际第一梯队。同年9月24日,国家集成电路产业投资基金(简称:大基金)正式成立。

大基金一期自实施以来,扶持了许多“成长型”企业发展成为行业佼佼者,如兆易创新、汇顶科技、国科微、长电科技等等。而从投资领域的分布情况来看,大基金一期投资领域中,集成电路制造居多,设计其次,还包括封测和装备材料等。

今年以来全球深受芯片荒的困扰,产业链自主可控成为大国共识。随着大基金一期的逐渐退出,大基金二期在芯片设计、制造、封测、材料以及设备等产业链环节持续跟进,此外还可以看出大基金二期正在不断加码晶圆制造等屡屡被美国卡脖子的项目,如中芯国际、中芯南方、中芯京城、睿力集成等,还有材料、设备等环节的企业,如南大光电、中微公司等,继续承接扶持国家半导体产业的目标,投资的版图不断进入全面覆盖阶段。

而近期大基金二期将目光转向了半导体软件,投资了上扬软件。按照过往的投资策略,大基金参与投资的企业均为国家集成电路产业的核心战略企业,而在MES/CIM工业软件领域,上扬软件是第一家。这恰恰凸显了上扬软件在半导体产业链中的战略地位。

来源:企查查

MES/CIM工业软件赛道

在晶圆制造环节,半导体MES软件也是很重要的一环。MES,它的英文是Manufacturing Execution System,即为制造执行系统,更通俗的来说是,晶圆厂流片的生产管理即自动化系统。在半导体制造领域的投资,80%的投资都是在晶圆厂,设备贵,系统也贵。

MES系统掌管着晶圆厂的人、机、料、法、环多方的系统监管。一个晶圆厂有人、有机器、有材料,法是工艺过程,环视指质量循环。对于整个晶圆厂而言,MES是半导体制造的“中枢神经”系统,控制和管理芯片制造的全过程。如果把整个晶圆厂的软件系统视为一个飞机的话,MES就是它的发动机。

从技术角度而言,MES和AMHS类似,从8英寸半自动化跃升到12英寸全自动化的技术跨越度非常大,对稳定性、可靠性的要求提升太多。在12寸晶圆制造过程中,每一片晶圆需要在几百台设备间流转,经过近1000道工序,其复杂程度可想而知。据不完全统计,一片12英寸的晶圆在晶圆厂跑完以后,在MES系统中产生的数据是10几个G,还不包括设备里面的测试数据。而MES系统必须跟所有的工艺设备、搬运设备、材料消耗全部对接到位。

此外,一套MES软件系统仅占晶圆厂投资的1%,投资动辄百亿元的晶圆厂,厂商不敢承担这其中风险,所以大都采用国外成熟的系统,也使得国内在8英寸和12英寸产线上进展缓慢。

正是因为这些技术难点和行业现状,所以半导体MES软件高端应用领域是处于国外垄断的局面。目前,我国在4-6英寸晶圆制造厂中MES软件已基本实现国产化,8英寸超过80%市场都是被外资占领,12英寸基本被外资垄断。

如今,MES迎来了最好的发展时刻,有资金的大力支持,也有企业敢于试错,给了国产MES软件发展的机会。上扬软件也可以放手一搏,冲刺12英寸量产线。

上扬软件为何被大基金看好?

上扬软件是致力于“中国芯”、“智能造”的工业软件服务商,其将在“软实力”方面助力国家集成电路的发展。此次的C轮融资,上扬软件正是用于其12英寸半导体量产线CIM/MES系统的研发,以期实现半导体先进制程量产线MES国产化的“零突破”。不止如此,此系统还将用于探索AI大数据在生产工艺优化、效率提升和良率提高方面的运用。

之所以其能在短时间内获得多家投资机构的青睐,正是因为投资方认可上扬软件的技术实力和行业地位,信任公司长期共事的核心团队和技术团队,同时也看好半导体智造软件的发展前景。

“种一棵树,最好的时候是十年前,其次是现在”。在半导体行业也有一个说法,做半导体要么是20年前,要么是今天,上扬软件就不小心从20年前做到了今天。

上扬软件的发展史

目前上扬软件开发的myCIM(MES)已经能够支撑8寸线8万片/月的产能(可支持超过10万片/月)、6寸线20余万片/月的产能。2019年,上扬软件又推出了新产品myCIM 4.0,填补了12寸半导体MES系统国产化的空白,使上扬软件成为国内率先拥有自主知识产权的半导体全自动化CIM软件方案的软件公司。

上扬软件的优势在国内MES软件行业中是佼佼者。首先,在团队实力方面,上扬软件拥有泛半导体行业专业的MES团队,研发团队超过100人,实施团队超过200人,上扬软件创始人吕凌志博士更是这方面的专家;再者,上扬软件拥有众多客户的背书和行业丰富的经验,也突破8寸量产线;其次,上扬软件通过这次融资具备了雄厚的资金储备,为后续12英寸量产线MES的研发提供了资金保障。

结语

纵观世界晶圆厂MES的发展史,业界鲜少有坚持超过20年的MES厂商,IBM和应用材料是这其中的少数者,上扬软件是一家。在这个行业,你不做4、5、6寸不能做8寸,8寸没做,做不了12寸。产线需要迭代,团队也需要迭代,从小到大,从弱到强。

在中美贸易纷争、全球追求产业链自主可控的这个时间节点,未来保障晶圆厂的数据安全,国产化泛半导体MES行业替代势不可挡。被国家大基金二期和华为哈勃双双看好,上扬软件可谓是任重道远,肩负了国内半导体MES产业的突破和半导体制造的振兴。

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