【嘉勤点评】众凌科技的精密金属遮罩专利，通过优化两侧蚀刻孔相交结构，使尖点结构更平缓、更厚实，增加强度，提高精度，降低了精密金属遮罩产生折痕的概率。
集微网消息，众凌科技专注于OLED面板生产用核心治具精密金属掩膜版的规模化量产以及高品质国产化替代，年产3-6万条成品FMM，能同时满足两条45K OLED面板产线的需求。
随着OLED分辨率的提高，精密金属遮罩上孔洞之间的距离也必须越来越近。以目前蚀刻制作法的精密金属遮罩而言，受限于蚀刻的等向性蚀刻特性，即往深度方向蚀刻的同时也会往侧边蚀刻，当孔洞间距随着分辨率提高缩小宽度时，将使相邻孔洞之间的第二主表面宽度逐步减少至零，甚至削减金属基材的厚度，导致开孔区域结构强度大幅的弱化，容易使精密金属遮罩产生折痕问题。
为此，众凌科技于2021年6月9日申请了一项名为“用于蒸镀的精密金属遮罩及其多工序蚀刻制作方法”的发明专利（申请号: 202110642496.2），申请人为浙江众凌科技有限公司。
图1 用于蒸镀的精密金属遮罩结构图
图1为本发明提出的用于蒸镀的精密金属遮罩的结构图，其中包括金属基材1，它的其中一个侧面为第一主表面1a，另一侧面为第二主表面1b，金属基材上开通若干暴露孔，暴露孔在第一主表面上设置第一蚀刻孔5，在第二主表面上设置第二蚀刻孔6，两蚀刻孔中心相重合，呈连通状态，蚀刻孔的外口大、内口小，且外口与内口之间通过凹弧孔壁过渡衔接，第一蚀刻孔与第二蚀刻孔的衔接处形成交界夹角7，夹角大于90°，衔接处为暴露孔的高精度孔径8。
用于蒸镀的精密金属遮罩的多工序蚀刻制作方法，主要包括以下工艺步骤：首先，在金属基材的第一主表面以及第二主表面上完整涂覆固态光刻胶层；然后，通过曝光显影制程定义图形，在第一主表面上制作出第一镂空区形成预留的蚀刻区域，在第二主表面上制作出第二镂空区形成预留的蚀刻区域，第一镂空区与第二镂空区正对；将第二主表面的外侧贴合保护膜，使第二主表面上的固态光刻胶层与第二镂空区均被覆盖于保护膜之下；进行第一次蚀刻制程，将第一主表面的第一镂空区蚀刻出第一凹陷区；接着将保护膜撕下以暴露出第二主表面的固态光刻胶层与第二镂空区；对第一主表面进行保护层涂布制程，将保护涂层涂布在第一主表面的第一凹陷区内进行填孔保护；然后进行第二次蚀刻制程，将第二主表面的第二镂空区蚀刻出第二凹陷区，进一步使第二凹陷区蚀刻至穿孔且达到需求的高精度孔径宽度即停止；最后进行去膜制程，通过去膜药水将固态光刻胶层及保护涂层洗去，完成成品制作。
简而言之，众凌科技的精密金属遮罩专利，通过优化两侧蚀刻孔相交结构，使尖点结构更平缓、更厚实，增加强度，提高精度，降低了精密金属遮罩产生折痕的概率。
众凌科技致力于为OLED面板客户提供整体解决方案，加速OLED产业的渗透和发展。未来众凌科技将进一步深入进行产品和材料开发，争取填补国内高端产品缺乏的空白。
