集微网 · 2022年01月04日

【专利解密】解决半导体器件高低温检测难题 思科瑞发明集成式工作台

【嘉勤点评】思科瑞发明的半导体器件低温、高温在线测试装置,利用高温和低温测试腔,通过启动电机带动环板转动来实现对测试工位的切换,而工作人员只需摆放待检测半导体器件即可通过计算机来了解测试数据。

集微网消息,半导体器件是导电性介于良导电体与绝缘体之间,利用半导体材料特殊电特性来完成特定功能的电子器件,可用来产生、控制、接收、变换、放大信号和进行能量转换。

通常,半导体器件所用的半导体材料是硅、锗或砷化镓,可用作整流器、振荡器、发光器、放大器、测光器等器材。在每一个半导体器件的研发过程中,为了保证半导体器件能在高温、低温等环境下正常工作,往往需要对成品半导体器件进行低温、高温的测试,以挑选出其中的合格产品流通入市场中。

但是,现有的方案对半导体进行低温、高温测试时,容易受外界环境的影响而导致测试精度低、测试效率低等问题。为此,思科瑞在2020年5月14日申请了一项名为“一种半导体器件低温、高温在线测试装置”的发明专利(申请号:202010406298.1),申请人为成都思科瑞微电子股份有限公司。

根据该方案目前公开的相关资料,让我们一起来看看这项技术方案吧。

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如上图,为该专利中发明的半导体器件低温、高温在线测试装置的整体结构示意图,其中包括第一机架1和第二机架2,第二机架设置在第一机架的一侧,其顶部设置有计算机3。在该测试机构中,包括有圆筒4,在圆筒的外周面设置有两个关于圆筒的竖直向中心轴线呈轴对称设置的测试腔5,其两侧底端中部贯穿设置有通过槽6。

通过槽的两侧内壁向外呈倾斜设置,第一环板17的外周面到对应位置轮齿22远离第一环板一侧的最大距离等于通过槽的最小槽径。在实际的使用过程中,先将该测试装置与外部电源相连通,并将两个测试腔内部的第一制冷器20与第二制冷器21接通直流电,使得第一制冷器、第二制冷器其中一个与电源正接,另一个与电源反接,从而形成一个高温的测试腔和一个低温的测试腔。

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如上图,为该测试结构的局部剖视图,该系统利用穿过线孔30的连接导线将计算机与液压缸9、测试探针11、光电传感器12以及电机13相连通,随后即可进行在线测试工作,在进行测试工作的过程中,工作人员将待测试半导体器件依次摆放在第一环板上的卡位孔18的内部,并启动电机工作。

当光电传感器检测到待测半导体器件运动至测试工位后,电机停止工作,同时液压缸推动其端部的测试探针向下运动,利用测试探针对待测半导体进行测试,其测试数据通过计算机进行显示。当测试完成后,测试探针回收,电机继续工作,带动待测半导体器件切换至下一工位,从而完成对待测半导体器件的高、低温测试。

并且,由于第一环板底部设置有镶嵌滚珠36的弧形槽35,可大大降低第一环板和第二环板在转动过程中所受到的摩擦力,从而减小电机的输出能耗。在高、低温测试均完成后,且测试完成的半导体器件随第一环板运动至槽口7处时,半导体器件落到导料板8上,随后,工作人员则根据测试数据对测试完成的半导体器件进行分类收集,从而解决了现有的测试装置测试效率低的问题。

以上就是思科瑞发明的半导体器件低温、高温在线测试装置,该装置利用高温和低温测试腔,通过启动电机带动环板转动来实现对测试工位的切换,而工作人员只需摆放待检测半导体器件即可通过计算机来了解测试数据,因此该装置不仅方便快捷,且对于工作人员来说工作强度也较低,并可防止其受外环境的影响而导致测试精度低。

关于嘉勤

深圳市嘉勤知识产权代理有限公司由曾在华为等世界500强企业工作多年的知识产权专家、律师、专利代理人组成,熟悉中欧美知识产权法律理论和实务,在全球知识产权申请、布局、诉讼、许可谈判、交易、运营、标准专利协同创造、专利池建设、展会知识产权、跨境电商知识产权、知识产权海关保护等方面拥有丰富的经验。

(校对/holly)

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