【嘉勤点评】湖南三安的碳化硅蚀刻工装专利，通过将多个托架一一可拆卸地卡持于多个第一连接缺口内，能够同时蚀刻多个碳化硅衬底，具有蚀刻效率较高，且蚀刻灵活性较高的特点。
集微网消息，新能源汽车迎来“碳化硅元年”，作为中国首条、世界第三条碳化硅全产业链整合研发与制造平台——湖南三安已经做好准备，迎接这片高速发展的市场，“长沙造”碳化硅二极管量产已经下线并通过客户可靠性验证。
碳化硅的加工生产过程中，其衬底的质量较为重要，直接影响到研磨抛光的合格率，乃至芯片端的合格率。目前检验碳化硅衬底质量需要将衬底置于高温的KOH溶液里进行蚀刻。但是，现有的蚀刻治具单次仅能蚀刻一片碳化硅衬底，导致蚀刻效率较低。有鉴于此，研发设计出一种能够解决上述技术问题的碳化硅蚀刻工装显得尤为重要。
为此，湖南三安于2020年12月31日申请了一项名为“碳化硅蚀刻工装”的发明专利（申请号: 202011644791.3）,申请人湖南三安半导体有限责任公司。
图1 碳化硅蚀刻工装的立体结构示意图
图1为本发明提出的碳化硅蚀刻工装的立体结构示意图，该碳化硅蚀刻工装包括支撑杆11及多个托架12，其中，支撑杆竖直设置，侧面开设有多个第一连接缺口111。而多个托架均呈水平设置，且均能承接碳化硅衬底900，多个托架一一可拆卸地卡持于多个第一连接缺口内。这样一来，在使用碳化硅蚀刻工装时，可同时在支撑杆上连接多个托架，从而同时对多个碳化硅衬底进行蚀刻，其蚀刻效率较高，并且，可根据蚀刻需求调整支撑杆上连接的托架数量，以对对应数量的多个碳化硅衬底同时进行蚀刻，从而提高碳化硅蚀刻工装的灵活性。
其中多个第一连接缺口分别开设于支撑杆上相背的两个侧面上，能够增加碳化硅蚀刻工装所能同时蚀刻碳化硅衬底的数量，提高灵活性。第一连接缺口也可开设于支撑杆四周的侧面上，以在改变蚀刻坩埚尺寸的情况下，将托架数量进行拓展，从而提升产能。进一步地，支撑杆的数量可为两根，两根支撑杆间隔排列设置，且均开设有第一连接缺口，托架通过卡持于两个第一连接缺口与支撑杆连接，以提高托架连接于支撑杆的稳固性。并且，在支撑杆的侧面靠近支撑杆的顶部还可凸设有挂钩，与支撑杆呈夹角设置，以通过提拉挂钩112来移动碳化硅蚀刻工装。
图2 碳化硅蚀刻工装具有第二连接缺口时立体结构示意图
图2为碳化硅蚀刻工装具有第二连接缺口时立体结构示意图，托架顶部和/或底部上可开设有第二连接缺口127，在水平放置托架于第一连接缺口内时，第一连接缺口的内壁与第二连接缺口的内壁配合，以相互卡持，从而通过第二连接缺口限制托架相对于支撑杆位移的范围，进一步提高托架卡持于支撑杆的稳固性。
简而言之，湖南三安的碳化硅蚀刻工装专利，通过将多个托架一一可拆卸地卡持于多个第一连接缺口内，能够同时蚀刻多个碳化硅衬底，具有蚀刻效率较高，且蚀刻灵活性较高的特点。
湖南三安是三安光电股份有限公司的全资子公司，一直坚持全产业链整合模式，实现产能、成本及质量验证的全方位管控。未来三安会将全产业链整合的优势发挥到最大，实现在半导体化合物高端领域的全产业链布局。
