半导体行业观察 · 2022年07月06日

美国希望ASML对中国禁售DUV光刻机,荷兰不同意

据知情人士透露,美国正在推动荷兰ASML Holding NV禁止向中国出售对制造全球大部分芯片至关重要的主流技术,以扩大其遏制中国崛起的行动。

华盛顿提出的限制将扩大现有的向中国出售最先进系统的暂停期限,以阻止中国成为世界芯片生产领导者的计划。如果荷兰同意,这将大大扩大现在禁止进入中国的芯片制造设备的范围和类别,这可能对从中国芯片制造商造成严重打击。

知情人士说,美国官员正在游说荷兰同行,禁止 ASML 出售其一些较旧的深紫外光刻( deep ultraviolet lithography:DUV) 系统。这些机器比尖端技术落后一代,但仍然是制造汽车、电话、计算机甚至机器人所需的某些不太先进的芯片的最常用方法。

在彭博发布初步报告后,ASML 的美国存托凭证将跌幅扩大至 8.3%,这是自 2020 年 3 月以来的最大盘中跌幅。

知情人士表示,该问题是在美国商务部副部长Don Graves于 5 月下旬和 6 月初访问荷兰和比利时讨论供应链问题期间出现的。由于讨论是私下进行的,这些知情人士要求不具名。在那次访问中,Graves 还参观了ASML 在 Veldhoven 的总部,并会见了该公司的首席执行官 Peter Wennink。

知情人士说,荷兰尚未同意对 ASML 向中国芯片制造商出口的任何额外限制,这可能会损害该国与中国的贸易关系。由于无法从荷兰获得出口许可证,ASML 已经无法将其最先进的极紫外光刻系统(每台成本约 1.6 亿欧元(1.64 亿美元))运往中国。

美国对 ASML 的推动正值美国总统乔·拜登单独考虑放宽特朗普时代对来自中国的消费品征收的一些关税之际。尽管在两国关系紧张之际,中国可能会欢迎这样的举动,但拜登政府仍在继续其前任限制中国获得美国技术的努力。

美国商务部和荷兰外交部拒绝置评。

“讨论并不新鲜。没有做出任何决定,我们不想猜测或评论谣言,”ASML 发言人说。

ASML 是世界上最大的光刻系统制造商,这些机器在半导体制造过程中执行关键步骤。ASML 在此类设备市场上的主导地位意味着,进一步切断中国对其产品的获取将破坏这个亚洲国家在关键电子元件生产方面更加自给自足的雄心。

“中国在全球芯片设备市场的份额微不足道,”总部位于亚洲的Hinrich Foundation研究员Alex Capri)说,他将芯片生产描述为中国扩大半导体实力计划的“瓶颈”。

老一代机器 DUV 的能力不如更先进的 EUV 光刻设备,但在制造目前严重短缺的许多类型的芯片中仍然不可或缺。知情人士说,华盛顿的重点是禁止销售最先进的 DUV 技术,即浸没式光刻机。

其中一位知情人士说,美国官员还试图向日本施加压力,要求其停止向中国芯片制造商提供相同的技术。日本尼康公司在这方面与 ASML 竞争。

浸没式光刻也称为氟化氩浸没,或简称 ArFi。根据中国方正证券的数据,ASML 在 2021 年售出了 81 台 ArFi 系统,而尼康售出了 4 台,这家荷兰公司占据了 95% 的市场份额。

荷兰首相马克·吕特6 月表示,他反对重新考虑与中国的贸易关系,并呼吁欧盟制定自己的对华政策。中国是荷兰仅次于德国和比利时的第三大贸易伙伴。

文宁克今年早些时候表示,ASML反对禁止向中国客户销售 DUV 光刻设备,因为它已经是一项成熟的技术。根据彭博汇编的公司披露和数据,由国内或外国公司运营的中国的设施占 ASML 2021 年总收入的 14.7% 。

ASML 还指控该国政府支持的一家中国科技公司可能侵犯知识产权。

美国阻止芯片制造设备出口的努力始于特朗普政府。华盛顿向荷兰政府施压,要求其阻止EUV 光刻系统的销售,这些系统是生产最复杂的半导体所必需的,并且 ASML 拥有垄断地位。

出于国家安全考虑,包括应用材料公司和林研究公司在内的美国主要芯片设备制造商已经被禁止向中过晶圆厂销售某些先进产品。潜在的 DUV 禁令可能会进一步打击中国晶圆厂。

“光刻设备是中国在半导体生产方面最难更换的设备,”台湾经济研究所分析师 Johnson Wang 表示。“如果没有国外的深紫外光刻设备,中国芯片产业的发展可能会停滞不前。”

来源:内容由半导体行业观察(ID:icbank)编译自彭博社,谢谢。

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