【嘉勤点评】长江存储的晶圆检测专利，通过镂空区域可使晶圆相背的两个待检测面同时外露，简化了晶圆的检测过程，同时提高了检测效率。
集微网消息，天眼查显示，近日长江存储科技有限责任公司公开多项专利，其中一条名称为“晶圆承载装置及晶圆检测设备”。
由于工艺水平不同，晶圆可能会在生产阶段产生冗余物、晶体缺陷和机械损伤三种缺陷，因此有必要对晶圆进行光学检测；相关技术中，晶圆的光学检测是检测晶圆的正面和反面，其中，对晶圆的正面检测时，晶圆通过真空吸附在卡盘上进行检测，对晶圆的反面检测时，晶圆则通过夹销固定至卡盘上进行检测，如此，导致晶圆的检测过程繁琐。
为此，长江存储于2021年8月20日申请了一项名为“晶圆承载装置及晶圆检测设备”的发明专利（申请号: 202121974762.3），申请人为长江存储科技有限责任公司。
图1 晶圆承载装置结构示意图
图1为晶圆承载装置结构示意图，其中包括承载组件10和固定组件20，承载组件具有镂空区域；固定组件设于承载组件上，能够将晶圆固定于承载组件上。晶圆通过固定组件固定在承载组件上后，晶圆远离承载组件的待检测面必然没有遮挡，可由检测目镜实现对晶圆此检测面的检测；同时，晶圆在镂空区域的正投影至少部分与镂空区域重叠，那么，晶圆的另一待检测面至少部分将通过镂空区域外露，可通过另一检测目镜实现对晶圆另一检测面的检测；由于晶圆是不透光的，那么两个待检测面可同时由两个检测目镜进行检测；这样晶圆在检测过程中仅需要通过一个设备便可实现对晶圆两个待检测面的同时检测，简化了晶圆的检测过程，提高了检测效率。
承载组件包括第一承载台11和第二承载台12，第一承载台具有第一镂空区域111；第二承载台沿第一预设方向a可活动设置于第一承载台的第一镂空区域内，并具有第二镂空区域121；镂空区域包括第一镂空区域以及第二镂空区域，固定组件位于第二承载台，且晶圆被固定组件20固定于第二承载台时，晶圆在第二镂空区域的正投影至少部分与第二镂空区域重叠。
图2 固定件结构示意图
图2为固定件结构示意图，固定组件包括：两个导向件122和多个固定件21，两个导向件122沿第二预设方向b延伸且分别位于第二镂空区域的相对两侧；固定件活动设置于导向件上，每个导向件上均至少有一个固定件，多个固定件用于固定晶圆。
简而言之，长江存储的晶圆检测专利，通过镂空区域可使晶圆相背的两个待检测面同时外露，简化了晶圆的检测过程，同时提高了检测效率。
长江存储是一家专注于3D NAND闪存及存储器解决方案的半导体集成电路企业。公司重视技术创新和国际知识产权库建设，未来将成为存储技术的领先者全球半导体产业的核心价值贡献者。
