狒话 · 2021年12月16日

芯片里起高楼(2):3D结构引发材料、工艺变革

E企研究院高能存储月,详解3D NAND系列之二:通天梯成就摩天楼

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3D NAND闪存结构的关键是垂直方向上的通道,就像高楼大厦里的电梯。电梯的出现,使摩天楼的层出不穷成为了可能;从平面转向3D结构,帮助CTF(电荷俘获)取代FG(浮栅)成为NAND闪存的主流,相应的,材料和制造工艺也发生了巨大的变化……

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