芯片里起高楼(3)：3D NAND的多段堆叠与字线阶梯

E企研究院详解3D NAND系列之三：现代高楼与古金字塔

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3D NAND闪存的立体结构，包括存储阵列和外围的字线阶梯，就像现代高楼与古金字塔的结合体，在堆叠200层的道路上，从蚀刻到光刻，需要化解诸多工艺挑战…